加工事例

加工事例6-1.ドーナツ基板と円盤を接合

 

 
断面図
  接合により、底が鏡面の穴ができる

加工事例6-2.レーザーとの組合せ

 

   レーザーであけた7μの穴の周りを削って柱を残した。