特許

光磁気記録用フロッピィディスク のガラス基板の同心度を高める方法及びその装置

ドーナツ型基板の切り出し研削具および切り出し研削方法

ドーナツ型基板の円孔研削工具

ドーナツ状基板の研削工具

板ガラスの糸面つき穴加工法ならびに加工用ドリル

硬脆材料の孔あけ加工方法及びその加工装置

ダイヤモンド・コアードリル

光ファイバー実装モジュールの製造方法

円盤状半導体ウェーハ面取り部のミラー面取り加工方法

硬脆材料の切断方法及び半導体シリコンウェハ

半導体ウェハ外周面のミラー面取り加工装置